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正硅酸四乙酯，正式名稱為四乙氧基硅烷，簡稱 TEOS，是一種化學式為 Si(OC2H5)4 的化合物。TEOS 是正硅酸 Si(OH)4 的乙酯，是最常見的硅烷氧基化合物。
TEOS 主要用作硅聚合物的交聯(lián)劑和半導體工業(yè)中二氧化硅的前體。其他用途包括地毯和其他物品的涂層。TEOS 還可用于生產氣凝膠。這些應用利用了 Si-OR 鍵的反應活性。